90年代初,隨著微機械制造技術和微型機電系統MEMS(Micro Electric Mechanical System)的研究與應用,激光加工的新興分支,“激光微加工”正在蓬勃的興起。激光微加工一般是指特征尺寸小于100μm的加工,是微機械制造的一種主要加工技術。
激光加工的實質是激光將能量傳遞給被加洛陽偉華激光切割工材料,被加工材料發生物理或化學變化,使其達到加工的目的。激光微細加工工藝既能加工出較為復雜的微型結構,且所要求的條件又不像異性刻蝕和LIGA技術那么苛刻,在實驗室和工廠較容易實現,又由于激光具有高時間及高空間分辨率,使之有可能在需要高精密加洛陽偉華激光切割工的場合(如電子、半導體、通訊等行業)得到進一步推廣和應用,所以激光微細加工向普通微機械加工提出了巨大的挑戰。
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